厚膜工艺制作纳米碳管场发射显示器(CNT-FED)的几种三极管型结构的研究

摘要：

文中描述了用丝网印刷的方法制作正栅极、背栅极1和侧栅极三极管型纳来碳管场发射显示器件,介绍了它们的制作工艺、所需材料要求,并建立模型进行ANSYS电场分布模拟,并对以上结构进行了比较分析。

关键词： 丝网印刷 纳米碳管 场发射显示器件 ANSYS模拟

作者: 刘红君 谢晓

作者单位: 上海广电电子股份有限公司,平板显示技术研究开发中心,200081

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 138-142

在线出版日期: 2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）