渠道火花烧蚀法及其应用

摘要：

简要介绍渠道火花烧蚀法的基本结构和基本原理,时渠道火花烧蚀法与脉冲激光烧蚀法的性能参数进行了比较,指出渠道火花烧蚀法是制备氧化物薄膜的独特技术,并以成功制备的高临界温度YBCO超导薄膜和室温高度自旋极化LSMO铁磁薄膜为例加以说明。

关键词： 渠道火花烧蚀法 脉冲激光烧蚀法 氧化物薄膜 YBCO超导薄膜

作者: 张群 黄丽 沈杰 章壮健 华中一

作者单位: 复旦大学材料科学系,上海,200433

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 99-102

在线出版日期: 2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）