碳纳米材料及其在真空微电子器件中的应用

摘要：

本文从碳纳米材料,特别是碳纳米管或纤维薄膜的的制备工艺、结构性能及其作为发射电子的冷阴极在场发射器件中的应用进行了综速.重点叙速了在新型平面显示器(FED)、节能光源、压力传感器、微波管等器件方面的应用.同时报道了新近研制成功场发射性能优异的高真空封装的FED原型器件,使研制实用化的FED取得了突破。

关键词： 碳纳米材料 冷阴极 场发射器件 化学气相沉积 碳纳米管

作者: 孙卓 Y.Sun 陈奕卫 郭平生 陈婷 张哲娟 王莉莉 曹章轶 蔡炳初 徐东

作者单位: 华东师范大学纳米功能材料和器件应用研究中心,上海纳晶科技有限公司,上海交通大学微米纳米科学技术研究院 Nanocs International Inc.,New York,USA

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 78-82

在线出版日期: 2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）