采用金属Mg和烧结MgO陶瓷靶材对PLD淀积MgO薄膜的结晶性的影响

摘要：

本文研究了脉冲激光淀积MgO薄膜的过程中,采用金属Mg和烧结MgO陶瓷靶对薄膜结晶性的影响.研究发现,MgO薄膜的结晶性主要受控于衬底温度和激光能量密度.通过对比采用金属Mg靶和烧结陶瓷Mp靶对MgO薄膜结晶性的影响,发现通过添加一层TiN籽晶层可以显著改善薄膜的结晶质量,获得表面具有原子级平整度的MgO薄膜。

关键词： 脉冲激光淀积 MgO薄膜 硅衬底 RHEED 薄膜结晶性 衬底温度

作者: 陈同来 李效民 于伟东 张霞 高相东

作者单位: 中科院上海硅酸盐研究所,国家重点实验室,200050

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 70-73

在线出版日期: 2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）