强流钴离子注入材料表面改性在工业上的应用研究
离子注入技术是起步于50年代,在60年代应用于半导体行业,本文介绍强流钴离子注入材料表面改性在工业上的应用研究,主要讨论：一、注入参数和硬度的关系，二、注钴量与摩擦系数的关系，三、注钴量与被注材料的耐磨性能关系，四、高速钢麻花钻注钴剂量与钻孔试验结果，此设备的研制成功标志了我们公司已经具有处理大型高附加值的气轮机轴和航空航天器件的表面改性处理能力,并且为该技术的大规模工业化生产提供良好的基础。
强流钴 离子注入材料 表面改性 半导体行业 金属气相真空弧光
张亚樑
上海恒久工具实业有限公司,201201
国内会议
上海
中文
43-45
2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）