玻璃毛细漏孔漏率的测量

摘要：

本文介绍了我们对毛细漏孔气流状态,漏率测量以及Q-P关系的的研究.我们利用石英玻璃拉制的毛细漏孔漏率范为1×10-4Pa.m3/s～3×10-7Pa.m3/s(0.1MPa差压下漏到大气),测量装置为我们建立的一套改进型的(P△V/t)漏孔校准装置,装置校准范围4×10-8mol/s～1×10-10mol/s(1×10-4Pa.m3/s～3×10-7Pa.m3/s),校准装置的总不确定度(不包括被检漏孔的不重复性)U=2％～5％(k=2)。

关键词： 毛细漏孔测量 漏孔不确定度 气流状态 漏率测量 漏孔校准装置

作者: 王金锁 许红

作者单位: 上海市计量测试技术研究院,200233

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 37-39

在线出版日期: 2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）