利用静态膨胀法真空装置校准标准漏孔

摘要：

本文介绍了利用静态膨胀法真空装置和残余气体四极质谱计校准标准漏孔的方法,通过试验数据完全符合压力和漏率的理论曲线关系,并给出了该装置测量范围(10-5～10-9)pa·m3/s,装置在校准10-7Pa·m3/s的标准漏孔不确定度小于5％(k=2)。

关键词： 静态膨胀法 真空装置 标准漏孔校准 不确定度 残余气体四极质谱计

作者: 王金锁 许红 唐景远

作者单位: 上海交通大学 上海市计量测试技术研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 34-36

在线出版日期: 2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）