晶振膜厚控制仪应用与展望

摘要：

国产镀膜机要实现多层膜自动化操作日前均使用进口的膜厚控制仪,使用进口的控制仪存在以下几个问题.其一、价格昂贵,其二、由于各厂家生产的设备不一,所以必须设计不同的接口,其三、现有的旧设备往往不能适应.为此使用上海泰尧真空科技有限公司生产的FCM-Ⅱ膜厚控制仪,只要国产镀膜机稍加配合即能简便地实现多层膜的半自动化，本文介绍晶振膜厚控制仪应用与展望。

关键词： 镀膜机 晶振膜厚控制仪 多层膜自动化

作者: 施恩光

作者单位: 上海泰尧真空科技有限公司,200082

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 26-29

在线出版日期: 2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）