扩散泵工作区域扩展的探索

摘要：

本文介绍通过研制扩散增压泵以扩展传统扩散泵高压强段工作区域的探索,详细介绍了扩散增压泵研制过程中获取的抽气能力调试各类数据,并试图探索及掌握影响扩散增压泵抽气能力的各类因素,以满足其增大抽气量的需要。

关键词： 扩散泵 高压强段抽速 工作区域扩展 扩散增压泵 抽气能力调试

作者: 任倬

作者单位: 上海曙光机械制造厂

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 15-18

在线出版日期: 2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）