21世纪真空获得技术的展望
真空获得设备是一个量大面广的产品,产量很大,产值不高,但它确实是一个影响到真空成套设备性能质量的必不可少的基础产品.真空获得设备从粗、低真空到超高真空,其产品大致可分成14大类:高/超高真空--分子泵、低温泵、溅射离子泵、钛升华泵、油扩散泵中真空--干泵、双级旋片泵、罗茨泵、油增压泵、水蒸汽喷射泵粗、低真空--单级旋片泵、滑阀泵、液环泵、往复式真空泵我国的真空工业自从1934年在上海诞生第一台往复式真空泵以来,已有70年的历史.本文主要讨论：一、我国真空获得设备的现状.二、真空获得技术所面临的挑战.三、全球真空泵市场形势和发展趋势.四、我国真空获得设备的发展方向。
真空获得技术 真空获得设备 分子泵 低温泵 钛升华泵 干式真空泵
姜燮昌
上海真空泵厂,201709
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上海
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2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）