光电子器件透明材料的激光穿透焊接
本文建立了薄膜充当焊接层的透明材料的热导焊的焊接模型。运用ANSYS有限元分析软件对焊接模型进行数值模拟,确定适合的焊接参数的范围。在进行透明材料的热导焊实验过程中,结合数值模拟的结果分析了薄膜热导焊的工艺要点。这种工艺的发展,将对光电子芯片透明村料,MEMS微器件等光学透明材料的精细焊接产生深远的影响。
激光焊接 光电子器件 透明材料 穿透焊接 薄膜
江绍基 李伟多 汪河洲
中山大学光电材料与技术国家重点实验室,广州,510275
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2003-10-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)