一种亚波长光刻新技术
本文打破传统靠缩短光刻波长提高光刻分辨率的思路,介绍一种利用波长比光刻波长小得多的等离子表面波,可穿过尺度很小的纳米孔和缝传播,实现用一般波长光进行亚波长光刻的物理原理与光刻方案,可大幅度提高超微细图形光学光刻分辨率,并极大节约光刻成本,文中还给出光刻亚波长分辨率图形的部分研究结果.
亚波长光刻 纳米分辨率 等离子表面波
陈旭南 石建平 陈献忠 陈元培 秦涛
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川,成都,610209
国内会议
湖北神农架
中文
335-337
2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）