类金刚石膜的研究现状

摘要：

本文介绍了类金刚石(DLC)薄膜几种常用的制备方法,总结了类金刚石薄膜的光学、力学、电学等方面的性能及其在相关领域内的应用情况,还简述了类金刚石薄膜应用过程中需进一步解决的问题.

关键词： 类金刚石 等离子体 化学气相沉积 薄膜

作者: 熊长新 李钱陶

作者单位: 华中光电技术研究所,武汉市雄楚大街981号,430073

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年十一省(市)光学学术会议

会议地点: 湖北神农架

会议语种:中文

页码: 392-396

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）