P-型TiO2 半导体薄膜的研制

摘要：

采用钛酸丁酯为前驱体,聚乙二醇为模板,利用溶胶-凝胶法制备了TiO2薄膜并进行了薄膜的微观形貌、表面成分和气敏特性的研究.结果表明,所制备的纳米TiO2半导体薄膜,存在晶界和缺陷以及氧原子过剩,导致二氧化钛薄膜内产生金属空穴或氧间隙原子,表现出p-型半导体行为,对CO具有较高的灵敏度.

关键词： 二氧化钛薄膜 半导体薄膜 纳米材料 CO气敏性

作者: 李韡 杨薇 张金利

作者单位: 天津大学化工学院,天津300072

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国化学工程与生物化工年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 287-291

在线出版日期: 2004-11-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）