一种新型UHF石英谐振器电极结构

摘要：

质量负载(R)会引起AT切割石英谐振器的一个等效切割角的改变.这个改变和电极的厚度以及电极同石英极板之间的热膨胀系数有关.本文中提出了一种具有双层金属的新型的电极结构.通过两种金属的温度补偿效应,R的影响会被减少.关于金和钛的模拟结果表明由它们构成的电极是一种不错的选择.

关键词： UHF石英谐振器 双层电极 质量负载 温度补偿效应 电极结构

作者: 公勋 商晓莉

作者单位: 南京大学声学研究所,南京,210093

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第一届压电和声波理论及器件技术研讨会

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 105-108

在线出版日期: 2004-12-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）