激光在微细加工中的应用

摘要：

当前用于激光加工的激光器主要有三类:COZ.NdYAG和准分子（ KrF. ArF）激光器，但随着半导体激光技术的迅速发展，使得二极管激光器、二极管泵浦全固体激光器、光纤维激光器和超短脉冲激光器必然进入材料加工业，特别在微细加工中的应用增长更快。本文叙述了准分子激光应用在微细机械加工中先进技术以及研究的前景方向.

关键词： 准分子激光 精细加工 微细机械加工 固体激光器

作者: 裘迅 戈晓岚

作者单位: 苏州职业大学,江苏,苏州,215011 江苏理工大学,江苏,镇江,212013

会议类型: 国内会议

会议名称: 江苏省装备制造业与信息化高层论坛

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 53-56

在线出版日期: 2004-12-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）