扫描透视X射线显微镜的成像分辨率

摘要：

软X射线扫描透射显微镜(STXM)是近年来发展起来的一种新型显微技术,该技术能够获得比普通光学显微镜更高的分辨率,而相对于电子显微镜又具有不用重金属染色、可观测含水样品等优点.讨论了合肥国家同步辐射实验室(NSRL)在建中的STXM的光路设计,从基尔霍夫衍射定律出发对STXM的成像分辨率进行了分析.推导了在成像系统离焦的情况下系统调制传递函数、点扩散函数、边缘扩散函数的变化,并进行了数值模拟.通过数值计算,得到了分辨率随离焦量的变化趋势曲线,结合光强分布曲线可得到离焦量最好应小于3μm的结论,此数据对STXM的准直定位精度的确定具有指导意义.

关键词： 软X射线 扫描透射X射线显微镜 成像分辨率 菲涅耳波带片 数值模拟 离焦量

作者: 陈阳 蒋诗平 黄文浩 陈亮

作者单位: 中国科学技术大学,国家同步辐射实验室,安徽,合肥,230029;中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230029 中国科学技术大学,国家同步辐射实验室,安徽,合肥,230029 中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230029

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003第三届精密工程学术研讨会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 159-163

在线出版日期: 2003-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）