膜-基界面结合强度红外激光划痕测量新方法

摘要：

膜-基界面结合性能是直接关系到膜-基体系最终使用性能和可靠性的层裂法测量界面结合性能的研究与应用现状,提出膜-基界面结合强度的红外激光准静态划痕测量新方法.该方法以长脉冲红外激光非接触加载取代划痕法中的金刚石压头接触加载;以X射线衍射检测诊析技术和椭偏检测诊析技术替代划痕试验法的声发射检测诊析技术;以长脉冲激光的准静态加载取代激光层裂法的短脉冲高应变率动态加载.红外激光划痕机理为准静态热力耦合机理,膜基系统的基本失效形式有三种.

关键词： 激光测量 薄膜参数测量 界面结合强度 激光划痕法 非接触测量

作者: 冯爱新 谢华锟 张永康 蔡兰 周明 范真

作者单位: 江苏大学,机械工程学院,江苏,镇江,212013 成都工具研究所,四川,成都,610056 江苏大学,材料学院,江苏,镇江,212013

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003第三届精密工程学术研讨会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 150-154

在线出版日期: 2003-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）