高精度位移测量的激光干涉仪分析

摘要：

激光干涉测量技术作为高精度位移测量的光学计量方法之一,受到了广泛的关注.激光干涉仪具有测量范围大、分辨率高和测量精度高等优点,在精密和超精密测长领域得到了广泛的应用.本文分析了单频激光干涉仪和双频激光干涉仪的特点.

关键词： 激光干涉仪 位移测量 误差分析 光学计量

作者: 葛轶君 程维明

作者单位: 上海大学,精密机械工程系,上海,200072

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003第三届精密工程学术研讨会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 136-140

在线出版日期: 2003-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）