精密超精密加工技术及其发展

摘要：

本文论述了精密超精密加工技术的内容和定义范畴,介绍了精密超精密加工技术国内外的最新发展情况,并据此综述了精密超精密加工技术的现状、精密超精密机床的新型结构、精密超精密检测和误差补偿技术以及其中的扫描隧道显微镜(STM)技术.最后展望了精密超精密技术的未来发展趋势,并根据我国当前实际情况提出了开展精密超精密技术研究的几点意见.

关键词： 超精密加工 超精密机床 扫描隧道显微镜 误差补偿

作者: 高印寒 宋桂兰 李东旭

作者单位: 吉林大学,测试科学实验中心,吉林,长春,130025 吉林大学,机械工程学院,吉林,长春,130025

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003第三届精密工程学术研讨会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 85-88

在线出版日期: 2003-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）