飞秒激光在材料微加工中的应用

摘要：

本文介绍了飞秒激光的特性以及超短脉冲激光与材料相互作用的机理,并着重指出了其与长脉冲激光的区别.飞秒激光可产生超高光强、具有精确的损伤阈值(并且损伤阈值较低较低)、很小的热影响区、几乎可精密加工所有种类材料,并且,加工精度极高,可进行亚微米尺寸的精密加工.通过分析飞秒激光材料微加工的特性,综述超短脉冲激光材料微加工的应用研究现状.

关键词： 激光技术 飞秒激光 激光微加工 微结构改性 多光子吸收 光子晶体

作者: 贾威 王清月 傅星 胡小唐

作者单位: 天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国光学前沿问题讨论会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 194-201

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）