梳状微夹持器静电驱动力计算

摘要：

针对微夹持器中非平行梳状静电驱动方式以及实际静电驱动微机械器件电容边缘效应不可忽略的特点,推导了计及边缘效应梳状驱动器以及非平行梳状驱动器静电力计算公式,并采用有限元方法进行了三维仿真实验.结果表明:对于不满足平行板电容器简化条件的模型,计及边缘效应的梳状微夹持器模型具有更好的准确性与适用性.

关键词： 静电力 梳状驱动器 边缘效应 有限元 微夹持器模型

作者: 李玉和 李庆祥 訾艳阳 李勇 赵大鹏 郭阳宽

作者单位: 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003第三届精密工程学术研讨会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 239-242

在线出版日期: 2003-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）