无线通信设备中的MEMS技术

摘要：

随着无线通信技术在全世界范围内迅猛发展,射频微电子机械系统(RF-MEMS)技术在通信设备中的应用及其前景日益广阔.概述了用于无线通信设备的MEMS器件的性能,指出MEMS技术是解决移动通信设备小型化和低功率化的根本途径之一.近年来MEMS器件的材料及其加工技术取得了突破性进展,无线通信设备正朝着小型化、低功耗、低成本、高性能、更便捷等方向发展,因而将MEMS技术应用于移动通信设备的小型化和低功耗化等方面具有十分重要的现实意义.

关键词： 微电子机械系统 无线通信 射频微电子机械 通信设备

作者: 余文革 钟先信 李晓毅 刘积学

作者单位: 重庆大学,光电技术及系统教育部重点实验室,重庆,400044;重庆后勤工程学院,基础部,重庆,400016 重庆大学,光电技术及系统教育部重点实验室,重庆,400044

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003第三届精密工程学术研讨会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 251-255

在线出版日期: 2003-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）