纳米复合膜的制备、发展与应用
电子束物理气相沉积是采用电子枪发射电子,然后用电子轰击加热要沉积的靶材,使其蒸发沉积到工件上。该方法具有沉积速率高,制备的薄膜不易脱落的优点,适用于工业化大规模生产,特别是制备的纳米级多层膜具有较好的耐热性能。本文主要叙述纳米复合膜的发展趋势和制备原理,及可能的应用前景.
纳米复合膜 纳米材料 电子束物理气相沉积 电子轰击加热
马国佳 张华芳 武洪臣 彭丽平 蒋艳莉
高能束流加工技术国防科技重点实验室
国内会议
昆明
中文
252-254,284
2004-09-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)