电子束物理气相沉积技术的发展和应用

摘要：

介绍了电子束物理气相沉积技术的发展历程及其应用领域,并对热障涂层及其评价手段和国内外的发展现状作了阐述.

关键词： 电子束物理 气相沉积 热障涂层 涂层评价

作者: 姚振中 武洪臣 户桂林 亓宝梁

作者单位: 高能束流加工技术国防科技重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004年高能束流加工技术国际研讨会

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 209-212,216

在线出版日期: 2004-09-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）