数值分析在溅射工艺技术中的应用

摘要：

本文采用数值分析方法对溅射工艺数据进行分析,得出了工艺数据的拉格朗日插值方程和最小二乘法拟合方程,并应用来解决实际工作中的问题.

关键词： 数值分析 溅射工艺 集成电路

作者: 崔伟 邢容

作者单位: 信息产业部电子二十四所,重庆,南坪,400060

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第八届青年学术年会暨中国电子学会青年工作委员会成立十周年学术研讨会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 102-105

在线出版日期: 2002-08-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）