金属铝合金侵蚀研究

摘要：

本文研究了在半导体生产中出现的金属铝合金侵蚀现象,分析了金属侵蚀的机理,最后给出了金属侵蚀的防护方法.

关键词： 金属腐蚀 半导体工艺 金属侵蚀 刻蚀工艺 集成电路 铝合金

作者: 陈志勇 彭力 莫科伟

作者单位: 无锡微电子科研中心第二研究室,214035

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第八届青年学术年会暨中国电子学会青年工作委员会成立十周年学术研讨会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 88-91

在线出版日期: 2002-08-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）