热流式微型二维倾角传感器的分析和设计

摘要：

基于气体热对流的微机械倾角传感器具有结构、工艺简单、响应时间短以及抗强冲击的特点.设计了一种新型结构的二维倾角传感器,在对传感器工作原理进行理论分析的基础上,通过有限元分析得到了气体对流速度场和温度场的分布,同时给出了该传感器的工艺实施方案.

关键词： 倾角传感器 热流式传感器 微电子机械系统 气体对流

作者: 李科 梅涛 孔德义 熊小义

作者单位: 中科院合肥智能机械研究所,传感技术国家重点实验室,合肥,230031

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第八届青年学术年会暨中国电子学会青年工作委员会成立十周年学术研讨会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 166-169

在线出版日期: 2002-08-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）