KGD工艺技术

摘要：

本文论述了已知良好芯片(KGD)工艺技术,着重介绍了KGD夹具技术和工艺流程,为国内KGD技术的发展提供了技术指导.

关键词： 裸芯片 已知良好芯片 KGD夹具 工艺流程

作者: 恩云飞

作者单位: 信息产业部电子第五研究所,510610

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第八届青年学术年会暨中国电子学会青年工作委员会成立十周年学术研讨会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 791-795

在线出版日期: 2002-08-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）