准分子光源的新近进展

摘要：

近期准分子光源作为一种大功率UV、VUV光源和新型照明光源正在开发中,而且它们的潜在工业应用也已在实践中被认可.本文主要介绍近七、八年来准分子光源的研究和应用方面的进展.

关键词： 准分子光源 气体放电光源 照明光源

作者: 徐学基

作者单位: 复旦大学电光源研究所,200433

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国电光源科技研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 128-133

在线出版日期: 2005-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）