会议专题

热处理工艺对合金薄膜电阻及其稳定性的影响

利用离子束溅射镀膜技术制备了一种新型的压力传感器用合金薄膜,对合金薄膜电阻进行了热处理.分析了热处理工艺对合金薄膜电阻稳定性的影响.用该工艺能制备适应各种恶劣环境的高精度压力传感器.

压力传感器 离子束溅射镀膜 合金薄膜 热处理工艺 电阻稳定性

彭银桥 周继承 周宏广 龙思锐

中南大学信息学院,410075

国内会议

中国电子学会第八届青年学术年会暨中国电子学会青年工作委员会成立十周年学术研讨会

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2002-08-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)