微机电系统运动参数频闪微视觉测试技术

摘要：

实现对MEMS多维运动参数的测试,为MEMS运动参数提供有效的评价手段为目的从理论和技术两方面研究了频闪测量和微视觉检测的融合技术,MEMS系统运动特征和参数的测量原理及系统实现方法.讨论了与频闪照明相位同步的计算机微视觉检测系统的软硬件,主要包括:频闪系统、频闪照明控制、体视光学系统、立体视觉的视频数据采集、水平和垂直运动参数获取的数学表达摸型等.频闪微视觉测试技术和测试系统的研制将为目前的MEMS领域提供有效的检测与评价手段,具有广阔的应用前景.

关键词： 微机电系统 光电测试 频闪测量 微视觉检测 运动参数检测 视频数据采集

作者: 李智 王向军

作者单位: 天津大学,精密仪器与光电子工程学院,精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003第三届精密工程学术研讨会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 243-246

在线出版日期: 2003-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）