反射式单模光纤共焦扫描测量技术的研究

摘要：

介绍了反射式单模光纤共焦扫描测量方法的原理、构成及试验装置.该方法采用单模光纤构成共焦测量的主要光路,根据反射光的亮度来确定光点共焦位置.系统通过光聚焦点扫描被测物体的表面,控制电机实现Z轴扫描,从而实现了物体的三维重构.与传统的共焦显微测量方法相比,该方法具有更大的测量范围,更快的测量速度.试验结果分析表明,该系统测量范围为500μm,系统横向分辨率为0.67μm,纵向分辨率为2.3μm.

关键词： 非接触测量 单模光纤 共焦扫描测量 物体三维重构

作者: 吕东方 袁峰 陈中

作者单位: 哈尔滨工业大学,自动化测试与控制系,黑龙江,哈尔滨,150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003第三届精密工程学术研讨会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 132-135

在线出版日期: 2003-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）