一种利用光电极值法监控非规整膜系的新方法

摘要：

本文利用光电极值法对规整膜系的膜厚进行监控的方法已经得到了成功的应用.但是该方法对非规整膜系的监控却受到了一定的局限.本文提出了一种利用光电极值法监控非规整膜系的新方法.通过在临控光波长范围内搜索,找到了待求的非规整膜系每一层的监控波长,即λ0i,以λ0i为监控波长实现非规整膜系的监控.并将整个监控过程进行了计算机模拟.最后,对所得结果进行了误差分析,分析了其可行性.

关键词： 光学薄膜 极值监控法 膜厚 计算机模拟 光电极值

作者: 陈德军 杨亚培

作者单位: 电子科技大学.光电信息学院,成都,610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年十一省(市)光学学术会议

会议地点: 湖北神农架

会议语种:中文

页码: 366-369

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）