微电子机械系统(MEMS)综述

摘要：

MEMS英语全称为MicroElectroMechanicalSystem,即微电子机械系统.半导体微电子系统、集成电路IC系统和超大规模集成电路系统国际上发展得很快,工艺相对来讲已很成熟,其器件的微型化也能满足各方面要求.而微机械系统同样也在飞速发展.本文主要对微电子机械系统(MEMS)进行介绍.

关键词： 微电子机械系统 纳米技术 表面处理

作者: 吴茂钧 黄锦斐

作者单位: 复旦大学化学系,上海,200433

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005年上海市电镀与表面精饰学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 52-55

在线出版日期: 2005-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）