ULSI铜互连中的电沉积铜的研究动态

摘要：

超大规模集成(Ultralarge-ScaleIntegration,ULSI)铜互连的大马士革结构中的铜电沉积技术是ULSI铜互连的关键技术之一.本文将就该技术涉及的镀液组成、脉冲电流的应用、电沉积装置和电沉积铜性能等方面,介绍目前ULSI铜互连中铜电沉积技术的研究状况.

关键词： 铜互连技 电沉积法 脉冲电流 镀铜 集成电路

作者: 张炜 成旦红 王建泳 郁祖湛

作者单位: 上海大学化学系,上海,200444 上海大学环境与化学工程学院,上海,200072 复旦大学化学系,200433

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005年上海市电镀与表面精饰学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 198-202

在线出版日期: 2005-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）