电沉积在MEMS加工技术中的应用

摘要：

在非硅材料三维微加工技术中,基于电化学原理的微加工工艺发挥着关键作用,高深宽比微结构一次性微电铸成型和复杂金属微结构的叠层制作是最具代表性的典型工艺,借助它们可以直接制备各种三维微结构,而且可以通过模具复制工艺达到批量加工的目的.

关键词： 电沉积法 微电子技术 电化学原理 MEMS技术

作者: 丁桂甫 汪红 戴旭涵 赵小林 姚锦元 张丛春

作者单位: 微米纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海交通大学微纳科学技术研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005年上海市电镀与表面精饰学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 135-141

在线出版日期: 2005-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）