电磁微马达驱动微泵
在生物医学、化学液体的流量检测与分析及固态元器件冷却等领域中,均需要流量的精细控制和检测系统.在这类流量精细控制和检测系统中,微小型泵是一个基本元件.作者利用上海交通大学研制成功的直径为2mm的电磁型微马达作驱动源,并配以电火花加工工艺制备的蜗壳和Ti合金叶轮制成旋转式微泵.微泵的外形尺寸为φ4.5×6.5mm,最大流量可达12ml/min,流量可根据马达转速进行调节.
电磁型微马达 旋转式微泵 流量精细控制 参数估算
章吉良 杨春生 赵小林 张卫平 蔡炳初
上海交通大学微纳米科学技术研究院,“薄膜与微细技术”教育部重点实验室(上海)
国内会议
上海
中文
195-197
2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）