压缩载荷下纳米薄膜材料屈曲的实验研究

摘要：

　　本文先利用真空对靶磁控溅射镀膜法制作了50-150nm间不同厚度的钛/聚碳酸脂和钛/有机玻璃薄膜,然后设计了新的对中受压加力装置.最后在外加单向压缩应力和残余应力的联合作用下,研究了薄膜和基底之间由脱粘到屈曲,屈曲又驱动脱粘,进而散裂的全过程,用OLYMPUS显微镜对屈曲形成的过程进行了详细的观察,观察了皱折屈曲成长、传播的全过程讨论不同屈曲结构共存的状态。

关键词： 屈曲分层 薄膜系统 纳米薄膜材料 力学性能

作者: 李林安 董典帅 王世斌 方宇中

作者单位: 天津大学机械工程学院,300072

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国实验力学学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 1285-1289