扫描显微环境下微拉伸加载装置研制

摘要：

　　本文研制了两套薄膜单轴拉伸装置,一套用于AFM,一套用于SEM.结合数字图像相关法、数字散斑双曝光法和显微标记法,可以实现薄膜微区域变形场的原位检测.运用研制的检测设备分别对1.5μm厚NiFe膜和5μm厚Au膜进行了单轴拉伸实验,获得了检测微区域的变形。

关键词： 微拉伸 扫描显微镜 原子力显微镜 薄膜 力学性能检测

作者: 杨燕 李喜德

作者单位: 清华大学工程力学系FML,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国实验力学学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 1133-1138