光学读出的MEMS非制冷红外成像技术

摘要：

　　本文采用了谱平面刀口滤波方法,将双材料(SiNx/Au)微梁阵列接收热像后的转角变形转化为像平面上微梁阵列的像所对应的光强变化,并设计制作了无基底单层膜结构微梁阵列(100×100pixels,微梁尺寸200×200μm2,厚2μm).用该阵列在光学读出系统中,获得了室温下人体的热图像.该系统在室温时(300K)噪声等效温度差(NETD)达到0.2K.

关键词： 微悬臂梁 非制冷 红外成像 光学读出

作者: 郭哲颖 张青川 陈大鹏 伍小平 董凤良 缪正宇 熊志铭 李超波

作者单位: 中国科学技术大学,中科院材料力学行为和设计重点实验室,合肥,230027 中科院微电子研究所,北京,100029

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国实验力学学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 997-1002