光刻环氧树脂的增韧

摘要：

本文对光刻用阳离子固化树脂的增韧进行了研究.通过扣合耐受力的测试,可以得到表面缺陷对光刻模型性能的影响.研究发现,当光刻模型的表面较光滑时,可以得到较高的扣合耐受力.另外,本文还对光刻树脂的固化行为和直接影响模型表面光滑程度的因素进行了研究.

关键词： 光刻技术 环氧树脂 阳离子固化 折合耐受力

作者: Takayoshi Tanabe Ryoji Tatara Katsuyuki Takase

作者单位: Tsukuba Research Laboratories,JSR Corporation(Japan)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届亚洲辐射固化国际会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 180-184

在线出版日期: 2005-05-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）