溶胶凝胶法制备钛酸锶钡薄膜的热处理工艺研究

摘要：

采用溶胶-凝胶工艺,以醋酸钡,氧化锶,钛酸丁酯为原料制备了Ba<,0.8>Sr<,0.2>TiO<,3>溶胶,利用提拉法在Pt/TiO<,2>/SiO<,2>/Si衬底上制备BST薄膜,采用XRD衍射分析仪系统研究了不同热处理条件下制备的BST薄膜的晶相结构.结果表明:热处理温度在600℃以上时,BST薄膜形成了较为完整的ABO<,3>钙钛矿结构,且随热处理温度升高,热处理时间的延长,晶体生长沿(110)的取向性越好,结晶状况明显改善.

关键词： 钛酸锶钡 溶胶凝胶 热处理工艺 衍射分析

作者: 李莺 张卫华 赵高扬

作者单位: 西安理工大学材料科学与工程学院(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届中国热处理活动周暨第六届全国热处理生产技术改造会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 266-269

在线出版日期: 2005-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）