非晶碳/Mo<,2>C混合膜的场发射特性
以镀有Mo过渡层的Al<,2>O<,3>衬底,在微波等离子体增强化学气相沉积(MPCVD)系统中,制备了非晶碳/Mo<,2>C混合结构薄膜,反应气体为CH<,4>和H<,2>.在高真空室中测量子样品场发射特性.开启场强为0.55V/μm,在职.8V/μm电场下样品的发射电流密度为6.8mA/cm<”2>.发射点点密度>10<”3>/cm<”2>.用SEM观察了表面形貌,Raman和XRD谱分析了薄膜的微观结构和成分.实验结果表明该薄膜是一种好的场致电子发射体.
微波等离子 化学气相沉积 非晶碳 场发射 混合膜
王朝勇 姚宁 张兵临 鲁占灵 方莉俐 邓记才 张新月 赵永梅 袁泽明
郑州大学材料物理教育部重点实验室(河南郑州)
国内会议
重庆
中文
46-47
2005-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）