北京同步辐射装置LIGA技术研究

摘要：

经过十几年的努力,LIGA技术日已成熟,在很多领域内得到了应用.LIGA技术以大高宽比结构和加工厚度著称,结构高宽比可达100以上,结构厚度可在1毫米以上,是其他任何加工技术所不能够相比的.这一优越的加工能力为在微机械制造中发挥作用,提供了坚实的技术基础.

关键词： 微机械 微细加工 同步辐射 深度电铸

作者: 伊福廷 张菊芳

作者单位: 高能物理研究所同步辐射室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国先进制造技术高层论坛暨制造业自动化、信息化技术研讨会

会议地点: 贵阳

会议语种:中文

页码: 390-393

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）