RF-PCVD制备无色透明类金刚石保护膜的研究

摘要：

本文在传统的RF-PCVD设备上采用磁约束增强技术,在玻璃上低温沉积(小于150℃)出优质无色透明类金刚石保护膜(Diamond-like Carbon,DLC).膜/基可见光透光率高(大于90﹪),有相当高的硬度(HV9~11GPa),膜层抗划伤性好(抗19.6N戒刀刀尖刻划),耐紫外线辐射.

关键词： 膜材料 金刚石膜 抗划伤 透光性 气相沉积

作者: 朱霞高 林松盛 侯惠君 袁镇海 戴达煌

作者单位: 广州有色金属研究院(广州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004年中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 969-973

在线出版日期: 2004-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）