16in热场125~150mm重掺锑硅单晶产品质量和收率改进
本文对16in热场生产125~150mmN-111重掺锑硅单晶生产过程进行了研究.通过改进锑掺杂方式、热场温度分布和单晶生长参数包括氩气流量的自动控制,实现了125~150mm重掺锑硅单晶产品质量改进和可观的产品收率.在连续生产中,16in热场5inN-111目标电阻率小于0.018Ω·cm合同的产品大于62.2﹪;6in热场N-111重掺锑单晶电阻率小于0.18Ω·cm单晶合同收率大于56.8﹪.同时在电阻率梯度方面,1/2R和6mm梯度分别小于14﹪和18﹪,小于客户要求的22﹪和26﹪.单晶锭实际分凝系数为0.6716,单晶和抛光片漩涡检测结果合格.
单晶硅 热场 重掺锑 电阻率梯度 抛光片
黄振飞 胡书强
麦斯克电子材料有限公司(洛阳)
国内会议
北京
中文
99-101
2004-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）