毫米压电微电机的发展与应用

摘要：

毫米尺度的微电机日益受到人们的关注,但是电磁电机的复杂结构和静电电机输出微弱限制了它们的应用,相比之下压电微电机具有独特的优势,结构简单且功率密度高.本文分类介绍了直径小于10mm压电微电机的发展状况、小型化的关键技术、应用领域和发展前景.

关键词： 压电微电机 超声电机 毫米尺度 微机电系统

作者: 周铁英 鹿存跃 陈宇

作者单位: 清华大学物理系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第三届超声波电机理论和应用技术研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 158-163

在线出版日期: 2005-05-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）