MEMS接触式开关的计算机模拟

摘要：

该文给出了用简单的理论模型对高频MEMS接式开关的悬梁变曲和驱动电的关系的分析，并介绍了利用有限元分析软件-ANSYS对其电学、力学及其耦合特性的计算机模拟的过程。

关键词： MEMS接触式开关 模拟 有限元法

作者: 初建朋 郭方敏 赖宗声

作者单位: 华东师范大学电子系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 178～181

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）