微型MEMS高频开关技术

摘要：

一种表面微机械微型开关制作在硅、石英玻璃或半绝缘GaAs衬底上。它采用悬挂的SiON<,X>微型梁作为悬臂，铂－金接触，静电受激作为开关机理。这种开关被设计为：运行从直流到高频(4GHz左右)，应具有高(-40dB)的电隔离和低(0.2dB)的插入损耗。加工温度不超过250℃，确保开关具有微波、毫米波单片集成能力。

关键词： MEMS高频开关 悬臂梁 插入损耗 隔离度

作者: 郭方敏 赖宗声 初建朋

作者单位: 华东师范大学理工学院电子科学系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 193～196

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）